Microfabrication Fundamentals: Deposition, Lithography, and Etching (bằng tiếng Anh).

Công nghệ hiện đại dựa trên các thành phần hiển vi, từ bộ xử lý trong điện thoại thông minh của chúng ta đến cảm biến trong thiết bị y tế. Hiểu được cách các cấu trúc nhỏ này được xây dựng ở quy mô vi mô là bước đầu tiên để đi vào các lĩnh vực công nghệ cao của bán dẫn, công nghệ nano và hệ thống cơ điện tử vi mô (MEMS). Chương trình chỉ có văn bản này hướng dẫn bạn qua các quá trình vật lý và hóa học cốt lõi được sử dụng để sản xuất các thiết bị vi mô hiện đại. Bạn sẽ xây dựng một nền tảng lý thuyết vững chắc trong hoạt động phòng sạch, đặc tính vật liệu, và các bước chính xác cần thiết để tạo mẫu bánh xe silic. Bạn sẽ học được gì: Hiểu các nguyên tắc cơ bản của môi trường phòng sạch, kiểm soát ô nhiễm và các giao thức an toàn; Giải thích các kỹ thuật lắng đọng phim mỏng vật lý và hóa học, bao gồm sputtering và lắng cặn hơi hóa học; Học cách xử lý photolithography, từ ứng dụng photoresist đến phơi nhiễmและ phát triển; So sánh Phương pháp khắc ướt và khô để loại bỏ các vật liệu một cách có chọn lọc với độ chính xác cao; Tìm hiểu các tiến bộ hiện đại trong thiết kế mẫu, bao gồm các nguyên tắc khắc tia cực tím (EUV); Phân tích các lỗi chế tạo phổ biến và các chiến lược khắc phục lỗi để kiểm soát chất lượng. Chương trình bắt đầu với thuật ngữ phòng sạch thiết yếu và chuẩn bị wafer trước khi tiến hành các giai đoạn lắng đọng, tạo mẫu và khắc, kết thúc với xu hướng công nghiệp hiện đại. Lớp học này được thiết kế cho người mới bắt đầu, sinh viên và kỹ sư phần cứng tham vọng mà không có kinh nghiệm sản xuất trước đó. Bắt đầu đọc hôm nay để mở khóa kiến thức cơ bản về sản xuất bán dẫn.