Fondamenti di MEMS: Tecniche di Micro e Nanofabbricazione

La tecnologia che alimenta sensori moderni, smartphone e dispositivi medici si basa su strutture più piccole di un capello umano. Comprendere come questi sistemi micro e su scala nanometrica vengono progettati e fabbricati è essenziale per la prossima generazione di ingegneria hardware. Questo corso solo testuale fornisce un'introduzione completa ai processi fondamentali di microfabbricazione e nanofabbricazione. Passerete dalla comprensione delle proprietà di base del silicio alla comprensione dei complessi passaggi chimici e fisici utilizzati per costruire sistemi micro-elettro-meccanici (MEMS) funzionali. In questo corso imparerai a: 1. Comprendere la terminologia di base, la storia e la fisica fondamentale dei MEMS e della nanotecnologia. 2. Spiegare i processi passo-passo di fotolitografia, deposizione ed incisione in un ambiente di camera bianca. 3. Analizzare le proprietà meccaniche ed elettriche del silicio e dei materiali substrato alternativi. 4. Confrontare le tecniche di micromachining di massa e di superficie per la creazione di microstrutture 3D complesse. 5. Esplorare i progressi moderni nella fabbricazione, inclusa la litografia a nanoimpronta e l'incisione ad alto rapporto d'aspetto. 6. Valutare i protocolli di sicurezza della camera bianca, il controllo della contaminazione e i metodi di ispezione della qualità. Il corso inizia con concetti fondamentali di fisica su scala micro e scienza dei materiali prima di guidarti attraverso i processi chimici e fisici utilizzati nelle moderne camere bianche. Studierai strutture di dispositivi MEMS reali, come accelerometri e sensori di pressione, per vedere come questi passaggi di fabbricazione si uniscono nella pratica. Progettato per studenti di ingegneria, tecnici e professionisti curiosi nuovi alla nanotecnologia, questo corso non richiede alcuna esperienza precedente in camera bianca. Inizia a leggere oggi per costruire una solida base nel mondo dell'ingegneria su scala micro e nanometrica.