Fundamentos de MEMS: Técnicas de Micro y Nano Fabricación

La tecnología que impulsa los sensores modernos, los teléfonos inteligentes y los dispositivos médicos se basa en estructuras más pequeñas que un cabello humano. Comprender cómo se diseñan y fabrican estos sistemas a micro y nanoescala es esencial para la próxima generación de ingeniería de hardware. Este curso, solo de texto, proporciona una introducción completa a los procesos fundamentales de microfabricación y nanofabricación. Pasará de comprender las propiedades básicas del silicio a captar los complejos pasos químicos y físicos utilizados para construir Sistemas Micro-Electro-Mecánicos (MEMS) funcionales. En este curso, aprenderá a: 1. Comprender la terminología central, la historia y la física fundamental de los MEMS y la nanotecnología. 2. Explicar los procesos paso a paso de la fotolitografía, la deposición y el grabado en un entorno de sala limpia. 3. Analizar las propiedades mecánicas y eléctricas del silicio y los materiales de sustrato alternativos. 4. Comparar las técnicas de micromaquinado en volumen y de superficie para crear microestructuras 3D complejas. 5. Explorar los avances modernos de fabricación, incluida la litografía por nanoimpresión y el grabado de alta relación de aspecto. 6. Evaluar los protocolos de seguridad en sala limpia, el control de la contaminación y los métodos de inspección de calidad. El curso comienza con conceptos fundamentales de física a microescala y ciencia de materiales antes de guiarlo a través de los procesos químicos y físicos utilizados en las salas limpias modernas. Estudiará estructuras de dispositivos MEMS del mundo real, como acelerómetros y sensores de presión, para ver cómo se unen estos pasos de fabricación en la práctica. Diseñado para estudiantes de ingeniería, técnicos y profesionales curiosos nuevos en la nanotecnología, este curso no requiere experiencia previa en salas limpias. Comience a leer hoy mismo para construir una base sólida en el mundo de la ingeniería a micro y nanoescala.